Rotorsystem
Kraftkärnan i en torrvakuumpump är en exakt anpassad rotorenhet, vanligtvis bestående av två till tre spiralformade eller kloformade-rotorer. Dessa metallrotorer med hög-precision griper in i varandra med mikron-nivåspel och använder motrotation- för att driva gas från inloppsporten mot avgasporten. Den unika profildesignen hos rotorerna-såsom evolventa eller cirkulära bågprofiler-bestämmer pumpningseffektiviteten; rotationshastigheter kan nå 3 000–6 000 rpm, och ett enstegs kompressionsförhållande kan överstiga 10:1.
Tätningsstruktur
Till skillnad från olje-täta pumpar bibehåller torra pumpar vakuumintegriteten genom en trippel-tätningsmekanism:
Labyrinttätningar: Flerstegs, slingrande kanaler placerade vid rotorändarna använder luftflödesmotstånd för att blockera läckage.
Gasbarriär: Inert gas sprutas in i kritiska spelrum för att skapa en pneumatisk tryckbarriär.
Specialiserade beläggningar: Rotorytorna är belagda med material som PEEK (polyeter-eterketon), vilket ger både slitstyrka och minskad friktionskoefficient.
Dessa designfunktioner håller läckagehastigheten under 0,5 Pa·m³/s, och uppfyller därmed de stränga renhetskraven från industrier som halvledartillverkning.
Kylmodul: "Temperature Guardian" för kontinuerlig drift
På grund av frånvaron av oljebaserad-smörjning kräver torra pumpar ett intelligent värmehanteringssystem:
Luftkylning: Värmeavledningsflänsar av aluminiumlegering tillsammans med en centrifugalfläkt avleder upp till 60 % av den alstrade värmen.
Vattenkylning: En inre vattencirkulationsslinga i koppar-rör ger värmeväxlingseffektiviteten som är tre gånger högre än luftkylningen.
Fas-Ändra kylning: Vissa modeller använder värmerörsteknik, vilket uppnår en värmeledningsförmåga som är upp till 100 gånger högre än för ren koppar.
